Photovoltaik-WBL

Photovoltaik

Be- und Entladung Nassbank inline

 

 

 

In der Regel werden die Wafer in der Herstellungskette zur Silizium-Solarzelle auch nasschemischen Verfahren unterzogen. Die Wafer werden in einem Ätzbad gereinigt, von Sägeschäden befreit und texturiert. Eine andere Behandlung entfernt das im Diffusionsprozess als Nebenprodukt entstandene Phosphorsilikatglas. Diese Prozessschritte können im inline- oder batch – Verfahren erfolgen. Die Wafer werden dazu in einem Kunststoffbecken nasschemisch behandelt.

 

Der Jonas & Redmann Wet Inline Loader / Unloader dient der vollautomatischen Be- und Entladung von Inline-Nassprozessanlagen, wie z.B. saure Texturierung, Phosporglasätzen oder Nasskantenisolierung.  Die Anlage zeichnet sich durch ein sehr schonendes  Materialhandling mit speziell entwickelten Greifeinrichtungen sowie durch den  hohen Durchsatz  und ihre Zuverlässigkeit aus.  Die  Positionierung der Wafer im Nassbankeinlauf erfolgt ohne Kantenberührung.  Die Anlage ist in verschiedenen Ausführungen erhältlich und ermöglicht die Automatisierung  von Inline-Nasschemieanlagen verschiedenster Hesteller.

 

In Abhängigkeit vom Prozessschritt können in der Anlage verschiedene Qualitätskontrollen durchgeführt werden, hierzu ist die Integration unterschiedlicher Inspektions- und Messgeräte optional vorgesehen.

 

In der Automatisierung der Textur-Nassbank kann zudem eine Ätzraten-Ermittlung als In-Process-Kontrolle integriert werden. Hierzu wird das Gewicht der Wafer vor und nach dem Ätzen mit hochpräzisen Inline-Waagen ermittelt und der Ätzabtrag berechnet. Eine spurbezogene Auswertung ist möglich.

 

Die Systeme bieten einen Durchsatz von 8400 Wafern/h bei einer Bruchrate von weniger als 0,01%.

 

Die Anlagen können an Ihr MES-System, sowie an ein vollautomatisches Transport- und Speichersystem angebunden werden.

 

Modulare Konfiguration inline z.B.:
  • Materialzuführung über Carrier, Magazine oder Boxen
  • "single-sided" Handlingkonzept, perfekt geeignet für neue Zelltechnolgien
  • Ätzratenermittlung
  • Direkte Anbindung an die Logistik durch Carrier-Beladung und Einzel-Wafer-Transport
  • 5, 8, 10 Spuren

 

Downloads:

 

Sprechen Sie mit unseren Experten! Gern beraten wir Sie in allen Fragen zu unserem Wet Inline Loading and Unloading.