Photovoltaik-WHP

Photovoltaik

Be- und Entladung Anti Reflective Coating batch / inline

 

 

 

In diesem Prozessschritt wird die zukünftige Solarzelle im inline- oder batch-Verfahren mit Siliziumnitrid beschichtet und erhält dabei ihre typische blaue Farbe. Durch die Oberflächen- und Volumenpassivierung des Silizium-Wafers wird eine deutliche Steigerung des Wirkungsgrades der Solarzellen erreicht.

 

Jonas & Redmann bietet Automationslösungen zur Be- und Entladung von PE-CVD Anlagen an. In enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden entwickelten wir bereits im Jahr 2000 die ersten Maschinen zur industriellen Automatisierung von batch PE-CVD Anlagen. Heute sind wir Weltmarktführer auf diesem Gebiet.

 

Wie alle unsere Anlagen zeichnet sich das Wafer Handling Plasma durch eine exzellente Material- und Verarbeitungsqualität, sowie hohe Wartungs- und Bedienfreundlichkeit aus. Abhängig von der Konfiguration bietet das System eine Durchsatzrate von bis zu bis zu 4000 Wafer/ h bei niedrigsten Bruchraten.

 

Die Anlage kann an Ihr MES-System, sowie an ein vollautomatisches Transport- und Speichersystem angebunden werden.

 

Modulare Konfiguration z.B.:
  • Materialzuführung über Carrier
  • stand-alone Konfiguration ermöglicht autonome Be- und Entladung von Prozessbooten, unabhängig vom Prozessequipment
  • Be- und Entladung durch hochpräzisen 6-Achs-Roboter (batch)
  • Schonender Wafertransport durch Minimierung mechanischer Beanspruchung
  • Optional: Integriertes Messsystem zur Kontrolle des Prozessergebnisses (colour, layer thickness)

 

Downloads:

 

Sprechen Sie mit unseren Experten! Gern beraten wir Sie in allen Fragen zu unserem Wafer Handling Plasma.